氦質(zhì)譜檢漏儀主要作用有哪些？

氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用，這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數(shù)量級(jí)，儀器響應(yīng)快,氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高；所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用，例如：在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、衛(wèi)星、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。在一般工業(yè)領(lǐng)域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在daodan武器裝備中也離不開檢漏，daodan彈體、燃料儲(chǔ)備罐、燃料運(yùn)輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏,本文主要真對(duì)氦質(zhì)譜檢漏原理及方法進(jìn)行綜述。